和呈的HMDS干燥箱其工作流程先是確定烘箱工作溫度，典型的預(yù)處理流程為：
1、打開真空泵抽真空，待腔內(nèi)真空度達(dá)到某一高真空度后，開始充入氮?dú)猓?
2、充到達(dá)到某低真空度后，再次進(jìn)行抽真空，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分受熱，減少硅片表面的水分；
3、然后再次開始抽真空，充入HMDS氣體，在到達(dá)設(shè)定時(shí)間后，停止充入HMDS藥液，進(jìn)入保持階段，使硅片充分與HMDS反應(yīng)。
4、當(dāng)達(dá)到設(shè)定的保持時(shí)間后，再次開始抽真空。充入氮?dú)?，完成整個(gè)作業(yè)過程。
HMDS與硅片反應(yīng)機(jī)理：先加熱到100度-200度，去除硅片表面的水分，然后HMDS與表面的OH一反應(yīng)，在硅片表而成硅醚，消除氫鍵作，從而使極性表面變成非極性表面，整個(gè)反應(yīng)持續(xù)到空間位阻（三甲基硅烷基較大）阻止其進(jìn)一步反應(yīng)。
